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8486304900复制 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置单位 台/千克 13% 8486309000复制 其他制造平板显示器用的机器及装置单位 台/千克 13% 8486401000复制 主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置单位 台/千克 13% 8486402100复制 塑封机单位 台/千克 13% 8486402200复制 引线键合装置单位 台/千克 13% 8486402900复制 其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备单位 台/千克 13% 8486403100复制 IC工厂专用的自动搬运机器人单位 台/千克 13% 8486403900复制 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备单位 台/千克 13% 8486901000复制 升降、搬运、装卸机器用零件或附件单位 千克 13% 8486902000复制 引线键合装置用零件或附件单位 千克 13% 8486203110复制 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）单位 台/千克 13% 8486203120复制 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）单位 台/千克 13% 8486203130复制 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机）单位 台/千克 13% 8486203190复制 其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机单位 台/千克 13% 8486203910复制 制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外）单位 台/千克 13% 8486203920复制 制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外）单位 台/千克 13% 8486203930复制 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外）单位 台/千克 13% 8486203940复制 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外）单位 台/千克 13% 8486203950复制 制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外）单位 台/千克 13% 8486203990复制 未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻设备单位 台/千克 13%