CMP是指半导体产业中晶圆生产的研磨工艺,它使用研磨工具与研磨抛光液将晶圆变得光滑,研磨抛光液的浆料颗粒从30-200μm广泛分布,按标准应该把浆料颗粒控制在0.5μm以内。如果不过滤掉大于0.5μm的颗粒将导致晶圆表面被刮伤,于是浆料过滤便成为该工艺的关键点。

行业发展三大关键词

1. 良率与精密——从“过滤”到“保质”

先进逻辑与存储芯片的制造对颗粒控制的要求已从以往的几十纳米缩小到单个位数纳米,CMP过程中的浆料过滤精度直接关联成品良率与生产成本。随着7nm、5nm工艺及3D NAND、GAA架构大规模量产推进,CMP步骤数量增加,过滤器对颗粒截留能力、寿命和重复性提出了更高要求。CMP过滤器作为高频次更换的耗材,其质量性能对晶圆表面质量提升与缺陷率降低具有直接决定性作用,引发了晶圆厂在滤材和过滤设计上的持续投入。

同时技术演进推动过滤器性能从“粗过滤”向“纳米级、定制化过滤”迈进,行业主要玩家不断将过滤精度提升至更高标准,以适应先进制造对洁净度的极致要求。

2. 市场格局变化——成熟厂与新锐力量共振增长

当前全球CMP过滤器市场呈现区域多极化分布:

亚洲市场(中国台湾韩国日本)仍是CMP过滤器需求最旺区域,源于内存、逻辑与代工产能扩张。台湾和韩国凭借成熟制程的大规模晶圆生产,对CMP过滤器的需求占比显著;中国大陆随着晶圆制造本土化推进,其CMP过滤器市场也展现快速增长潜力。行业研究

北美凭借高端逻辑与特种芯片制造线的技术积累,对高端过滤方案的需求稳健;欧洲则集中在汽车电子与工业微电子领域,对高品质过滤器的稳定需求持续释放。

虽然CMP过滤器行业相较于整套CMP设备市场规模较小,但作为耗材与工艺敏感产品,其增长更具刚需属性,是晶圆厂运营成本结构中不可忽视的刚性支出部分。

3. 技术驱动与差异化竞争加速

过滤器产品的技术竞争正在从单一“截留效率”向“整体过滤系统解决方案”升级。行业领先者通过材料创新、结构优化以及智能监测集成等方向发力:

高效膜材料与纳米孔径结构已成为提升滤材性能的关键方向;

智能监测与预测维护开始在部分先进晶圆厂中试点,可实时监控滤芯状态、预测更换周期,提高运行效率;

生命周期成本优化成为采购决策的重要考量维度,不再单纯比价,而是通过整体过滤性能提升来降低成本与良率损失。

市场上主流竞争者包括行业领先的国际供应商与新兴区域创新企业,他们通过技术积累、供应链协同和定制化解决方案在抢占更多晶圆厂高端需求。

为何这个行业值得关注?

CMP过滤器行业的价值体现在两个核心市场趋势:

先进制程扩容推动高频次更换需求:随着晶圆制造工艺逐年复杂化,CMP过滤步骤在晶圆工艺中的比重提高,进而提升过滤器消耗总量。

质量控制与成本效率提升需求并重:过滤器性能直接影响晶圆良率与运营成本,通过选择高效过滤方案,可以在边际成本上获得明显经济价值。

对于CEO、市场营销经理和投资者而言,CMP过滤器不仅是一个“耗材市场”,更是半导体制程优化和良率提升策略的重要组成部分,其隐性价值及长期增长潜力,正在逐步显现。

2025年全球半导体CMP过滤器市场规模大约为138百万美元




路亿市场策略最新发布了【全球半导体CMP过滤器增长趋势2026-2032】,报告揭示了半导体CMP过滤器行业当前的生产力状态,并通过详尽的数据分析和市场调研,揭示了企业面临的关键挑战和改进潜力。报告不仅深入探讨了半导体CMP过滤器国内外市场动态和需求变化,更创新性地构建了一个全面、系统且具有前瞻性的新生产力战略框架,旨在推动半导体CMP过滤器行业的持续发展。 

在先进芯片制造过程中,CMP(化学机械抛光)工艺对晶圆表面质量与平坦度提出了极高要求,而CMP研磨液(Slurry)的颗粒控制能力,正是决定良率的核心要素之一。由于研磨液在制备和流通过程中易形成凝胶和附聚物,进而生成大颗粒,若未经有效过滤,极易造成晶圆微划痕、缺陷甚至整片报废,对产能和成本造成严重影响。
区别于传统流体过滤,CMP过滤器不仅要精准拦截尾端大颗粒,更需确保有效磨料颗粒的通过率,以维持高研磨速率和平坦化效果的稳定性。这对过滤器的精度、结构、材料耐化性和稳定性提出了极高挑战。


因此,从研磨液生产端、Fab混合、工艺回路(Loop)到机台末端POU(Point of Use),CMP过滤器被全流程部署,以精确控制LPC(大颗粒计数),从源头保障芯片制程的高良率和高一致性。


目前,应特格(Entegris)、颇尔(Pall)、3M、科百特、杭州帝凡、大立过滤、飞潮新材等企业,正在通过技术创新持续推动CMP过滤解决方案的发展,以应对3D NAND、GAA等先进工艺对过滤性能的更高需求,成为半导体良率提升的关键支撑力量。


全球市场主要半导体CMP过滤器生产商包括应特格、 颇尔、 科百特、 3M、 杭州帝凡过滤技术有限公司、 杭州大立过滤、 永纯应用材料股份有限公司、 迈博瑞微电子、 飞潮新材等。
根据不同产品类型,半导体CMP过滤器细分为:囊式过滤器、 滤芯式过滤器等
根据不同下游应用,本文重点关注半导体CMP过滤器的以下领域:研磨液生产过滤、 Fab端过滤、 Loop端/机台POU端过滤等

先进制程持续推进是CMP过滤器需求增长的根本驱动力。随着制程节点向7nm、5nm及以下演进,晶圆表面平坦度和缺陷控制的工艺窗口显著收窄,CMP工序次数增加、工艺容错率下降,使抛光液中微粒和杂质的可控性成为影响良率的关键变量。CMP过滤器作为抛光液质量稳定的核心保障,其过滤精度、一致性和可靠性直接服务于先进制程良率提升,推动高端过滤器需求持续放大。

晶圆制造良率压力与成本控制并行放大了CMP过滤器的价值权重。在高资本开支背景下,晶圆厂对单片晶圆综合制造成本高度敏感,而CMP相关缺陷往往具有“放大效应”,一旦发生将带来整批晶圆报废风险。高性能CMP过滤器能够有效降低划痕、微缺陷和随机失效概率,在提升良率的同时减少返工和非计划停机时间,因而被视为低成本、可量化回报的关键工艺耗材,采购优先级持续上升。

CMP工艺复杂化推动过滤器向高频更换与多规格并行发展。随着多层互连结构、3D NAND、先进封装等技术广泛应用,不同工艺节点、不同抛光阶段对浆料颗粒控制要求差异显著,过滤器型号呈现出多规格、小批量、高定制化趋势。同时,稳定工艺运行需要更高的更换频率和一致性管理,使CMP过滤器从“辅助耗材”转变为“工艺敏感耗材”,直接拉动单位产线过滤器消耗量增长。

全球晶圆产能扩张为CMP过滤器提供了稳定的需求底盘。2025年前后,逻辑、存储及特色工艺晶圆厂在亚洲和北美持续推进扩产和新建项目,CMP作为核心制程模块,其配套过滤器需求具有天然的同步性。相较于一次性设备投资,CMP过滤器具备持续消耗属性,随着产能释放和稼动率提升,其市场需求呈现出更强的韧性和可预测性,成为半导体耗材领域中较为稳健的增长板块。

材料与过滤技术升级推动产品单价与价值密度提升。近年来,纳米级膜材料、高洁净制造工艺以及更长寿命滤芯设计逐步应用于CMP过滤器领域,使其从单纯的“颗粒拦截工具”升级为“抛光体系稳定器”。晶圆厂对过滤器性能验证周期拉长、认证门槛提高,促使高性能产品在采购体系中的议价能力增强,从而在需求增长的同时推动整体市场价值持续抬升。

半导体CMP过滤器报告重点关注全球主要地区和国家,重点包括:
美洲市场(美国加拿大墨西哥巴西
欧洲市场(德国法国英国俄罗斯意大利和欧洲其他国家)
亚太市场(中国、日本、韩国、印度东南亚澳大利亚等)
中东非洲埃及南非、以色列、土耳其和海湾地区国家等)

半导体CMP过滤器报告的章节概要如下:
第一章:半导体CMP过滤器报告研究范围,包括产品的定义、统计年份、研究方法、数据来源和经济指标等
第二章:主要分析全球半导体CMP过滤器主要国家/地区的市场规模以及按不同分类及下游应用的市场情况
第三章:全球市场竞争格局,包括全球主要厂商半导体CMP过滤器竞争态势分析,包括收入、销量、市场份额、产地发布、行业潜在进入者、行业并购及扩产情况等
第四章:全球主要地区半导体CMP过滤器规模分析,统计销量、收入、增长率等
第五章:美洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模、产品细分以及各应用的市场收入情况的分析
第六章:亚太主要国家半导体CMP过滤器行业规模、产品细分以及各应用的市场收入情况的分析
第七章:欧洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模、产品细分以及各应用的市场收入情况的分析
第八章:中东及非洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模、产品细分以及各应用的市场收入情况的分析
第九章:全球半导体CMP过滤器行业发展驱动因素、行业面临的挑战及风险、行业发展趋势等
第十章:半导体CMP过滤器行业的制造成本分析,包括半导体CMP过滤器原料及供应商、生产成本、生产流程及供应链分析等
第十一章:半导体CMP过滤器行业的销售渠道、分销商及下游客户的介绍
第十二章:全球主要地区半导体CMP过滤器市场规模预测以及不同产品类型及应用的预测
第十三章:重点分析全球半导体CMP过滤器核心企业,包括企业的基本信息、产品及服务、收入、毛利率及市场份额、主要业务介绍以及最新发展动态等
第十四章:报告总结 


半导体CMP过滤器报告目录如下:
1 研究范围
1.1 定义
1.2 本文涉及到的年份
1.3 研究目标
1.4 研究方法
1.5 研究过程与数据来源
1.6 经济指标
2 行业概要
2.1 全球总体规模
2.1.1 全球半导体CMP过滤器行业总体规模(2021-2032)
2.1.2 全球主要地区半导体CMP过滤器市场规模(2021, 2025 & 2032)
2.1.3 全球主要国家半导体CMP过滤器市场规模(2021, 2025 & 2032)
2.2 按技术节点,半导体CMP过滤器分类
2.2.1 囊式过滤器
2.2.2 滤芯式过滤器
2.2.3 按技术节点,半导体CMP过滤器分类市场规模
2.2.3.1 全球半导体CMP过滤器按不同技术节点销量(2021-2026)
2.2.3.2 全球半导体CMP过滤器按不同技术节点收入份额(2021-2026)
2.2.3.3 全球半导体CMP过滤器按不同技术节点价格(2021-2026)
2.3 半导体CMP过滤器下游应用
2.3.1 研磨液生产过滤
2.3.2 Fab端过滤
2.3.3 Loop端/机台POU端过滤
2.3.4 全球按不同应用,半导体CMP过滤器市场规模
2.3.4.1 全球按不同应用,半导体CMP过滤器销量份额(2021-2026)
2.3.4.2 全球按不同应用,半导体CMP过滤器收入份额(2021-2026)
2.3.4.3 全球按不同应用,半导体CMP过滤器价格(2021-2026)
3 全球市场竞争格局
3.1 全球主要厂商半导体CMP过滤器销量
3.1.1 全球主要厂商半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
3.1.2 全球主要厂商半导体CMP过滤器销量份额(2021-2026)
3.2 全球主要厂商半导体CMP过滤器销售收入(2021-2026)
3.2.1 全球主要厂商半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
3.2.2 全球主要厂商半导体CMP过滤器收入份额(2021-2026)
3.3 全球主要厂商半导体CMP过滤器产品价格
3.4 全球主要厂商半导体CMP过滤器产品类型及产地分布
3.4.1 全球主要厂商半导体CMP过滤器产地分布
3.4.2 全球主要厂商半导体CMP过滤器产品类型
3.5 行业集中度分析
3.5.1 全球竞争态势分析
3.5.2 全球半导体CMP过滤器行业集中度分析(CR3, CR5 and CR10)&(2024-2026)
3.6 行业潜在进入者
3.7 行业并购及扩产情况
4 全球主要地区规模分析
4.1 全球主要地区半导体CMP过滤器市场规模(2021-2026)
4.1.1 全球主要地区半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
4.1.2 全球主要地区半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
4.2 全球主要国家半导体CMP过滤器市场规模(2021-2026)
4.2.1 全球主要国家半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
4.2.2 全球主要国家半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
4.3 美洲半导体CMP过滤器销量及增长率
4.4 亚太半导体CMP过滤器销量及增长率
4.5 欧洲半导体CMP过滤器销量及增长率
4.6 中东及非洲半导体CMP过滤器销量及增长率
5 美洲地区
5.1 美洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模
5.1.1 美洲主要国家半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
5.1.2 美洲主要国家半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
5.2 美洲半导体CMP过滤器分类销量
5.3 美洲按不同应用,半导体CMP过滤器销量
5.4 美国
5.5 加拿大
5.6 墨西哥
5.7 巴西
6 亚太
6.1 亚太主要地区半导体CMP过滤器行业规模
6.1.1 亚太主要地区半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
6.1.2 亚太主要地区半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
6.2 亚太半导体CMP过滤器分类销量
6.3 亚太按不同应用,半导体CMP过滤器销量
6.4 中国
6.5 日本
6.6 韩国
6.7 东南亚
6.8 印度
6.9 澳大利亚
6.10 中国台湾
7 欧洲
7.1 欧洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模
7.1.1 欧洲主要国家半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
7.1.2 欧洲主要国家半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
7.2 欧洲半导体CMP过滤器分类销量
7.3 欧洲按不同应用,半导体CMP过滤器销量
7.4 德国
7.5 法国
7.6 英国
7.7 意大利
7.8 俄罗斯
8 中东及非洲
8.1 中东及非洲主要国家半导体CMP过滤器行业规模
8.1.1 中东及非洲主要国家半导体CMP过滤器销量(2021-2026)
8.1.2 中东及非洲主要国家半导体CMP过滤器收入(2021-2026)
8.2 中东及非洲半导体CMP过滤器分类销量
8.3 中东及非洲按不同应用,半导体CMP过滤器销量
8.4 埃及
8.5 南非
8.6 以色列
8.7 土耳其
8.8 海湾地区国家
9 行业发展趋势、驱动因素及面临的挑战
9.1 行业发展驱动因素
9.2 行业面临的挑战及风险
9.3 行业发展趋势
10 制造成本分析
10.1 半导体CMP过滤器原料及供应商
10.2 半导体CMP过滤器生产成本分析
10.3 半导体CMP过滤器生产流程
10.4 半导体CMP过滤器供应链
11 销售渠道、分销商及下游客户
11.1 销售渠道
11.1.1 直销渠道
11.1.2 分销渠道
11.2 半导体CMP过滤器分销商
11.3 半导体CMP过滤器下游客户
12 全球主要地区半导体CMP过滤器市场规模预测
12.1 全球主要地区半导体CMP过滤器市场规模预测
12.1.1 全球主要地区半导体CMP过滤器销量(2027-2032)
12.1.2 全球主要地区半导体CMP过滤器收入预测(2027-2032)
12.2 美洲主要国家预测(2027-2032)
12.3 亚太地区主要国家预测(2027-2032)
12.4 欧洲主要国家预测(2027-2032)
12.5 中东及非洲主要国家预测(2027-2032)
12.6 全球半导体CMP过滤器按不同技术节点预测(2027-2032)
12.7 全球按不同应用,半导体CMP过滤器预测(2027-2032)
13 核心企业简介
13.1 应特格
13.1.1 应特格基本信息
13.1.2 应特格半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.1.3 应特格半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.1.4 应特格主要业务介绍
13.1.5 应特格最新发展动态
13.2 颇尔
13.2.1 颇尔基本信息
13.2.2 颇尔半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.2.3 颇尔半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.2.4 颇尔主要业务介绍
13.2.5 颇尔最新发展动态
13.3 科百特
13.3.1 科百特基本信息
13.3.2 科百特半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.3.3 科百特半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.3.4 科百特主要业务介绍
13.3.5 科百特最新发展动态
13.4 3M
13.4.1 3M基本信息
13.4.2 3M半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.4.3 3M半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.4.4 3M主要业务介绍
13.4.5 3M最新发展动态
13.5 杭州帝凡过滤技术有限公司
13.5.1 杭州帝凡过滤技术有限公司基本信息
13.5.2 杭州帝凡过滤技术有限公司半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.5.3 杭州帝凡过滤技术有限公司半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.5.4 杭州帝凡过滤技术有限公司主要业务介绍
13.5.5 杭州帝凡过滤技术有限公司最新发展动态
13.6 杭州大立过滤
13.6.1 杭州大立过滤基本信息
13.6.2 杭州大立过滤半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.6.3 杭州大立过滤半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.6.4 杭州大立过滤主要业务介绍
13.6.5 杭州大立过滤最新发展动态
13.7 永纯应用材料股份有限公司
13.7.1 永纯应用材料股份有限公司基本信息
13.7.2 永纯应用材料股份有限公司半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.7.3 永纯应用材料股份有限公司半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.7.4 永纯应用材料股份有限公司主要业务介绍
13.7.5 永纯应用材料股份有限公司最新发展动态
13.8 迈博瑞微电子
13.8.1 迈博瑞微电子基本信息
13.8.2 迈博瑞微电子半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.8.3 迈博瑞微电子半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.8.4 迈博瑞微电子主要业务介绍
13.8.5 迈博瑞微电子最新发展动态
13.9 飞潮新材
13.9.1 飞潮新材基本信息
13.9.2 飞潮新材半导体CMP过滤器产品规格及应用
13.9.3 飞潮新材半导体CMP过滤器销量、收入、价格及毛利率(2021-2026)
13.9.4 飞潮新材主要业务介绍
13.9.5 飞潮新材最新发展动态
14 报告总结

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