2024上海国际碳化硅陶瓷碳化硅托盘展览会

碳化硅是采用超细碳化硅微粉喷雾造粒，等静压、干压方法成型，经无压烧结而成的自结合细晶阿法型碳化硅，其密度大于理论密度的98%。

高强度、高致密度、硬度接近金刚石、耐磨损；优秀的化学稳定性，能抵抗各种酸、碱及有机溶剂类的腐蚀；高导热率、低热膨胀系数、耐热冲击，并且最低热变形；耐高温1600摄氏度以上，具有优秀的抗氧化性能；电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形；全面的耐化学腐蚀能力耐电浆轰击，特别适用于刻蚀设备；低密度、质量轻。

CORESIC® RBS H高纯硅渗透反应烧结碳化硅

反应烧结碳化硅, 5N高纯多晶硅渗硅，注浆成型， 高纯度

关键优势

高强度CORESIC® RB H碳化硅陶瓷具有卓越的抗弯强度，是石英的3倍，承载力更高。耐高温CORESIC® RB H碳化硅陶瓷最高使用温度1350℃，即便在此温度下也可长期使用，可防止部件和组件热变形和软化。相比石英部件的1070℃最高使用温度更高。抗氧化性优异的抗氧化性使得CORESIC® RB H碳化硅陶瓷制作的悬臂桨、悬臂梁、悬臂杆、舟托、晶舟等部件不会产生颗粒，从而有助于电池片产品质量和设备部件寿命。化学稳定性CORESIC® RB H SiC 在蚀刻清洗过程中的极高化学稳定性，可防止 HF或HF+HNO3的侵蚀。与石英相比，蚀刻率小于1/1000。酸洗后碳化硅陶瓷部件表面无变化，不会给系统带来颗粒杂质，也可大大延长碳化硅部件寿命。从硅片的自动传输系统的角度来看，硅片槽在清洁过程中保持其精度不变。CORESIC® RB H SiC与氮化硅、多晶硅的热膨胀系数相近。

碳化硅反应管

碳化硅块孔式微反应模组

碳化硅微反应组件