POU纯化器是一种用于气体供给系统末端的设备，旨在去除气体中的有害物质、杂质或污染物，确保气体在最终使用质量符合应用需求。与传统的气体净化系统不同，POU气体纯化器通常安装在气体系统的最后阶段，直接连接至使用设备，确保纯净的气体在进入应用设备或系统时，已被净化至所需标准。POU纯化器主要由壳体、吸附滤料、滤芯、进出口接头等组成，其中接头类型有VCR、SW、NPT等，它广泛应用于Scanner，PVD/CVD，Etch，Implant等点位，特别在薄膜沉积环节，工艺气体作为薄膜原材料之一，且沉积薄膜种类多，使用的特气种类多；同时，薄膜每层要求不同，使用的辅助工艺气体也不同。因此，工艺气体的纯度直接影响了薄膜的性能。此外，光刻过程中，也需要使用高纯度的CDA或N2等工艺气体作为吹扫气，以防止lens的污染。
随着全球半导体、LED、光伏等高科技产业加速扩张，对氮气、氩气、氢气等超高纯气体需求快速提升。POU纯化器作为终端气体净化方案，可满足芯片制造等工艺对9N级以上纯度气体的严格要求，支撑下游行业产能扩张。
POU纯化器上游核心原料的供给状况整体稳定，但技术门槛与供应格局因材料特性而异。不锈钢作为基础结构材料，其供应充沛且高端产品的附加值主要体现在设计及电解抛光等后处理工艺上，因此受原材料价格波动的影响相对较小。关键的吸附剂与催化剂方面，技术路线多样且持续发展，其中催化触媒技术能有效吸附气体中的H₂O、O₂、CO等杂质，是应用广泛的纯化方案；同时，以具备高比表面积的颗粒活性炭为代表的吸附剂，在针对有机硫化合物等特定杂质的去除上也展现出显著效果。对于高洁净接头这类精密部件，其与阀门、仪表等同属于高纯工艺系统的重要配件，当前市场供应充足，高端领域虽仍以进口产品为主导，但整体不存在短缺问题。
据QYResearch调研团队最新报告“全球POU纯化器市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球POU纯化器市场规模将达到3.3亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为7.0%。
图. POU纯化器，全球市场总体规模
来源：QYResearch 电子及半导体研究中心
图. 全球POU纯化器市场前13强生产商排名及市场占有率（基于2024年调研数据；目前最新数据以本公司最新调研数据为准）
来源：QYResearch 电子及半导体 研究中心。行业处于不断变动之中，最新数据请联系QYResearch咨询。
根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内POU纯化器生产商主要包括Entegris、Donaldson、Porvair、Taiyo Nippon Sanso Engineering Corporation、上海先普等。2024年，全球前五大厂商占有大约81.0%的市场份额。
图. POU纯化器，全球市场规模，按产品类型细分，特种气体用处于主导地位
来源：QYResearch 电子及半导体研究中心
就产品类型而言，目前特种气体用是最主要的细分产品，占据大约78.3%的份额。
图. POU纯化器，全球市场规模，按应用细分，Application 1是最大的下游市场，占有电子及半导体份额。
来源：QYResearch 电子及半导体研究中心
就产品应用而言，目前半导体是最主要的需求来源，占据大约55.2%的份额。
图. 全球POU纯化器规模，主要生产地区份额
来源：QYResearch 电子及半导体研究中心
图. 全球主要市场POU纯化器规模
来源：QYResearch 电子及半导体研究中心
主要驱动因素:
半导体工艺节点推进和良率压力持续提升，先进制程、功率器件、MEMS、化合物半导体、显示面板等对工艺气体杂质容忍度从ppb走向ppt甚至ppq，传统集中供气净化难以覆盖末端波动，推动在设备前端加装POU纯化器以“最后一关”锁定纯度。
全球晶圆厂、面板厂、封测厂在中国大陆、东南亚、美国、欧洲的新建与扩产，使高纯氮、氩、氢、CDA以及多种特气的用量急剧上升，越多气路、越多机台，就意味着更多POU节点和改造空间。
工艺复杂度提升（ALD/ALE、EUV、先进刻蚀/沉积等）导致“气体配方+供应链”更敏感，厂内更倾向于用 POU做精细分级净化和冗余，提高对原料气质量波动、管道颗粒污染的容错能力。
客户对供应安全和本地化的要求加大，部分晶圆厂不再完全依赖气体供应商自带净化，而是由厂务/工艺团队自主选型POU纯化器，增加了独立第三方POU厂商的市场空间。
主要阻碍因素:
技术和验证门槛高：POU纯化器涉及高比表面积吸附材料、贵金属催化剂、内表面处理和超低析出工艺，且需要在客户现场经过漫长的寿命、纯度和颗粒验证，导入周期长，新进入者很难快速放量。
价格和成本压力：晶圆厂在大规模扩产背景下，对单点CAPEX极为敏感，往往要求与气体供应商打包议价，单台POU的采购价格和更换成本被压低，挤压厂商毛利。
维护与运维复杂：POU更换周期、压降管理、饱和状态监测需要和工艺停机、保养窗口协调，如果缺乏良好的状态监测和服务网络，客户会担心影响产能和良率，从而延缓扩用。
市场高度集中：高端POU市场长期被少数国际厂商占据，且与上游特气公司、设备商捆绑紧密，新品牌即便技术达标也需要在采购体系、资质认证、全球服务能力上投入大量资源。
行业发展机遇:
全球“去单一产地+本地化”建厂潮，使中国、东南亚、欧美新建和扩建晶圆厂、封测厂、面板厂对POU纯化器的需求呈持续增量，本地供应商在交付、服务和成本上的优势为国产/本地化替代提供窗口。
从单一气体净化走向“多气体、多机型平台化”，针对氮气、氩气、氢气、氧气及多种特气开发系列化 POU，并在同一平台上通过不同填料和工艺窗口覆盖更多场景，有利于规模化降本和提高议价能力。
与在线监测、IIoT 结合，将传统“黑盒子”型 POU 升级为带有端点传感、寿命预测、远程监控的智能纯化模块，为客户提供“纯度监测+寿命管理+维护服务”的整体解决方案，打开服务与订阅式商业模式。
除半导体外，新能源电池、光伏高效电池、精细化工、生物医药高纯气体使用也在提高，对局部高纯净化的需求逐步显现，为POU纯化器在新行业复制“半导体模式”创造了新增市场空间。
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